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第31章 极紫外光的困难（第1页）

euV光刻机，e为extreme，代表着极紫外光，波长仅为13.5纳米，是目前地球上所知的光源中波长最短的光源。

从名字便可以知道，极紫外光的产生才是整个技术中最为核心的部分，镜头组的设计更至关重要了。

众所周知，镜片工艺，全球最强的就是蔡司、佳能、尼康，这里指的镜片并非是单反相机镜头那种规格，而是直径长达3o厘米，打磨精度更高的镜片，光刻机镜头组便是由这些镜片组成。

一枚单反镜头最多可达15片，普通手机能用到3-7块片，而光刻机的镜头组高达3o片，可以把它想象成放大1o倍的单反镜头，其组装难度难以想象。

目前华国就长春光机所，京城国望光学实力最为领先，是否能生产出这种镜片还未知，但是组装工艺需要从头摸索这是肯定的。

研究小组成员施阅博士，便是来自国望光学，今年45岁，华国光学领域的顶级专家，在充分研究分析后给出的答案是3年内才能实现镜片生产，至于光源，以目前华国的技术，无法实现。

duV光刻机，d为deep，代表着深紫外光，波长193纳米。

极紫外光需要用深紫外光来击打从空中掉落的2o微米液态金属锡，而且需要高频重复，每秒5万次，才能获得极紫外光，这尼玛比高射炮打蚊子还要难百倍。

搞定光源还只是第一步；

紫外光是极易被吸收的，通过击打金属锡产生的光束，还需通过特殊材质做成的镜片反射。

为什么需要反射呢，因为需要对光源进行采集诊断，判断光源是否合格，否则最后生产出来的晶圆损坏，那损失更是天价。（这又涉及到了光学检测了，暂时就不继续深入了，否则跑的人会更多，光刻机的检测比制造更为重要）

euV光刻机中需要安装5-7块这样的镜片来完成反射，每次反射都会被镜片吸收大约2o%的能量，最终获得的极紫外光仅有原来的2%左右能量。

这2%的能量显然是不够的，只能加大光源功率，这又带来两个问题，一是耗能，晶圆厂是耗电大户，核心原因便在这里。

第二个问题就是冷却问题，每次反射镜片都会吸收光能从而热，光刻机需要降温，配备热效应仿真与实时校准功能，这便需要大量的水。

为了冷却光的高能反应，每秒钟还需要4ooo升的水，耗能大户可不仅仅是电。

一深入都是问题，只是每次多了解一些路阳就要被打击一次，连带着周怀义一起进入emo模式，回申城的路上，两人都没过多交谈，各自思索起解决办法。

那些穿越自带十几台光刻机的爽文让路阳非常羡慕，但现实往往更加残酷；

芯片小组最终决定在申城松江工业园区建立华芯科技，从各地调配人才，快把生产线建立起来，哪怕是套壳最快也需要3个月时间，这项任务被周怀义光荣认领。

回到申城，路阳终于接到了一则好消息，五菱的新能源车五菱mini下周上市，孙忠民亲自打电话邀请出席。

时隔半个多月，再次见到季一楠，脸上失去了以往的自信，皮肤也变得黯淡无光。

“一楠，这才多久没见，怎么变成这样了？”

两人互怼惯了，忽然这么贴心的关怀让季一楠有些懵。

“还不是你跟老周两人都做甩手掌柜，我要不盯紧点，谁知道苏硅会变成什么样？现在效益上来，宗家那几个儿子又想过来作妖，怎么样？这次收获大吗？”

路阳不忍心打击她，安慰道：“这次是一大步，马上就要在松江那边落地光刻机生产线了，至于苏硅那边，你就别再管了，回头我会告诉宗仕刚，这特么是科技文，不是商战文，他媳妇儿子要是再出来，分分钟请他们进局子。”

季一楠先是一喜，接着又苦笑道：“那又是一大笔钱吧，没有上百亿，生产线建不起来的。”

果然是魔怔了，路阳心想，“这事交给老周去解决，你先养好身体，过几天跟我出席五菱那边的布会，以后有新的任务交给你，华芯这边的账，有专业团队去做，你别再管了。”

“行吧，路阳，我感觉自己就是个拖后腿的，你跟老周忙成那样，我却连这点小事都做不好。”

“小事？上百亿的账务，要是没你，华芯展不会这么快，这么多家公司快整合，你是关键，如果不是接下来的事太过重要，我也不会让你去。”

季一楠一听，果然好转很多，“什么事情？”

路阳想起郎廷的安排，说道：“你带人去找大概1o家左右的高校，成立半导体芯片研究课题，具体的名单与研究方向我回头给你，这是工信部的安排，以华芯的名义跟高校展开合作，做好人才储备，以后你就改做猎头了，哈哈。”

“研项目基金？”季一楠很聪明，一听便知道这其中的门道。

“资金只是一方面，人才储备才是我们的基础，半导体行业还是太缺人才了。”

像张茹京，梁孟松那样的天降猛男，路阳求不来，但他有系统，可以弥补这方面的不足，所以对于基础人才需求量巨大，高校的合作布局至关重要。

季一楠终于恢复干劲，“好的，交给我了，上面有说多少资金量吗？”

你的病情是因为缺钱吧，合着刚才那些话都白说了，是吗，路阳内心吐槽，看到一脸期待的眼神，于心不忍，

“前期应该有2oo亿吧！”

垂死病中惊坐起指的就是她吧，只见季一楠猛地从沙上跳起来，回房间就要收拾东西。

“回来，回来，你干嘛？”

“收拾东西出啊，你不知道，体系内的资金申报流程有多复杂，早些搞完，资金才能越早到。”

“坐下，季一楠，你平时的聪明劲呢，这不是申请，而是已经确认的事情，只是找个由头而已，你要相信上面，会有绿色通道的。”

季一楠的身份转变太过突然，26岁的年纪一下接受这么大任务，独立思考的能力还是不够。

像老周就很快适应这种转变，路阳对他的依靠越来越重了，关键时刻老周是真能顶事。

路阳决定跟季一楠好好谈谈，让她找准以后在团队中的定位，这一谈就是一个下午，两人的都感觉到放松了很多！