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第70章 大连光源雄起（第1页）

造不如买，买不如租，在华微被针对之前，华国很多大厂都是这种态度，尤其是手机厂商，当然表面不会如此直白，但看看他们的实际行动就知道了。

米家、V家、o家华国手机巨头，使用的芯片几乎都是来自台鸡电或三星代工生产的，而设计方面全是米国高通的aRm架构设计的手机芯片，只有华微海思在设计方面拥有达芬奇架构自研技术。

从光刻机的展路径来看，共经历了5次大的迭代，依次是g线，i线，krF，arF，euV一共5代，其中浸没式技术arFi为4.5代。

第1，2代的技术已经是非常老旧了，对应波长分别是436与365纳米，属于微米级别的制程，光源主要是汞灯。

从第3代开始进入纳米制程，krF使用的是氟化氪准分子激光，波长进入248纳米，可以实现35o，18o纳米的芯片制程。

第4代arF，使用的是氟化氩准分子激光，波长进入193纳米，对应的制程是65纳米，而浸没式技术的明，在单次曝光上可以做到28纳米的芯片制程。

第5代euV，使用的是等离子光源，波长达到了13.5纳米，对应制程达到14纳米以下，euV的明，极限制程打破1纳米是迟早的事，不过当制程达到2纳米后，会生电子隧穿效应，如果不能解决这个问题，1，2纳米的芯片是无法量产的。

目前能够提供euV光源的只有米国net，而华国的光源厂目前还处在第4代arF，用于干刻。

申城微电子现在使用的光源是华虹提供的，针对浸没式技术还在攻关中。

华芯联合长春光机所、大连光源联合开的euV光源为dpp-euV，也就是放电泵浦极紫外光源，功率为12ap-euV为激光泵浦极紫外光源，功率为25o，这中间的差距估计有3-5代技术。

因为极紫外光极易被吸收，所以dpp-euV需要通过放大器实现总功率达2ok的光能才能使用，承担这个任务的就是由华芯，大连光源，长春光机所联合成立的华芯光学完成，目前正在大连光源全力攻克。

柴文政与丁冉对光源部分做了一番分析总结后都觉得悬。

“大连光源已经是国内最先进的激光制造商了，如果他们都不能完成的话，也找不到谁来替代了。”柴文政说道，上次开会那边已经确认可以稳定提供2ok的稳定功率，现在正在全力攻克25k，吸收后能直接使用的功率为5o。

丁冉问道：“现在还不能做镜面反射试验，吸收率还无法估算，为什么不直接使用激光泵浦极紫外光源，这样稳妥些。”

“你以为他们不想吗？第一是没有那个技术，第二是专利侵权，只要国外那两家厂商知道我们要买激光泵浦极紫外光源，也就知道我们在造euV了，现在还不是时候。”

就在柴文政与丁冉商讨试验的的同时，大连光源，25k放电泵浦极紫外光源试验正在做第三轮改进试验。

周宇正紧张的盯着显示屏的实时数据，这已经是第三轮修正了，25k光源始终不能稳定输出。

“周宇，我感觉这次有机会了，凡事不可再三嘛。”一旁的纪益玲安慰道，这个月他们几乎没回过家，带着团队一直在实验室做优化。

“但愿吧！”周宇淡淡说道，自从两个月前加入小组后，他已不再傲气，专家组都是来自各单位的顶级专家，连23所那样的传说机构都派人参与了，虽然他俩在其中年纪最小，但不能成为短板。

纪益玲继续说道：“听说这次结束后，上面有意让我们进入华芯光学，负责后续的开。”

“嗯，我也听说了，华芯科技、长春光机所还有我们共同成立新的公司，负责光源、镜片、光学系统方面，我们自然是老本行，哎，euV光刻机还有多久制造出来未知，但专项小组的成员估计都会被安排到各相关公司完成后续。”

周宇对于加入华芯倒是不反对，这两个月已经了解了很多，只要能研制出euV光刻机，他们注定载入史册。

“周宇快看，功率到达25k了，只要能维持1分钟我们就算成功了。”纪益玲惊呼道，虽然相同的事已经生多次了，但每次看着显示屏上的数字跳动，她都会无比紧张与激动。

周宇双手紧紧抓住桌子的边缘，双目一动不动，盯着计时器。

“45，46，48……”纪益玲开始报数，声音有些颤抖。

“一定要坚持住啊！”周宇心中也开始跟着倒数，“55，56……”

实验室的所有人都变得紧张起来，纪益玲报数的声音逐渐变大。

“58，59，6o，天哪，我们成功了！”纪益玲再也抑制不住自己的眼泪，看向旁边的周宇，他们成功了，没给大连光源丢人。

周宇声音颤抖，但仍在极力维持冷静，“还在继续，看看最后的极限能维持多久！”

实验室的众人已经开始大声欢呼，大连光源为了这次任务，调集了所有的精英，倾斜所有资源，虽然并不清楚用途，但是25k稳定的放电泵浦极紫外光源已经出他们极限输出很多了。

计时器仍然在继续跳动，并没停滞，现场又再次安静下来，连纪益玲都停止了报数。

1分2o秒；

1分3o秒；

科学研究总是这样，一旦突破了某个临界点，便会迎来飞跃，直到另一个难题的出现。

时间最终停留在2分45秒，大连光源的所有研人员一片沸腾。

时隔半个月，专项小组再次迎来另一重大突破，大连光源实现25k放电泵浦极紫外光源试验，时间2分45秒，所有小组成员备受鼓舞，第二阶段目标完成。

路阳接到消息时已是凌晨2点，兴奋得再也无法入睡，打开电脑，登6小破站，默默的在自己的空间写下，大连光源雄起！

开始肝《一口气让你了解光刻机光源究竟有难！》的视频，从光源的类型，技术壁垒，市场情况等几方面做了全面细致的介绍，直到窗外泛起鱼肚白，路阳才剪完视频。

路阳上传完视频，仍没困意，换好衣服，完成今天的晨练打卡。