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三人還在說著,裡面卻突然傳來一聲驚呼:「誒?」
所有人的腦袋都聚在一處,看著取出來的晶圓上根本沒有出現自己想要的圖案,開始按步驟尋找原因。
而後面的這些交談,聲音較小,屋外的三人根本就聽不見。
這還是趙志民第一次看到這樣的場面,有些摸不著頭腦,無意地問出聲:
「這是怎麼了?裡面的情況看起來不大好。」
「應該是掩膜出現問題了,晶圓沒有刻出想要的圖案,做出來也沒什麼作用。應該是她們剛接觸不久,有點緊張,很快就會找到原因的。」
話音剛落,趙志民就看到裡面的人面色恢復如常。
他沒有好奇李筠是怎麼猜到這個原因的,反而還想著繼續扒在玻璃窗上,繼續觀察是不是李筠所說的這個原因。
反而是閆旭東有些驚訝地看了李筠一眼,為了今天與機器形成對比實驗,他們今天所有用的試劑、材料都是的。
而且他們看到的還是第一次實驗,也就是說掩膜也是第一次使用。
按照往常的慣例來看,掩膜的平均使用壽命是5-25次,這種第一次就出問題的概率很小,因此他也有些不確定到底是哪裡出的問題。
為了驗證自己的猜測,他和趙志民一起,看著屋內幾人的動作,果然看到他們重啟機器,給晶圓重塗上光刻膠,再將掩膜板放置在上分,重用光照射。
看起來和重重複一遍剛剛的步驟沒兩樣。
此時,閆旭東也確認了李筠的猜測沒有錯,甚至比他這個老手還要早看出問題,眼神中閃過一抹亮光。
嘴邊卻好奇的詢問緣由,「不知道李師妹是怎麼看出是掩膜出問題的?」
「剛剛閆師兄不是說研製出來的分布式投影就是為了避免這個環節出錯,所有我就大膽這麼一猜。」
這個理由聽起來好像找不出什麼問題,可閆旭東聽在耳里卻總覺得怪怪的。
剛剛李筠說話時那篤定的神情,仿佛她一眼就能夠看出問題,根本不像是她嘴裡所說的猜測。
光是這麼想,閆旭東整個人都有些煩躁,想不出道理他就能把想到抓耳撓腮。
趙志民則是傻乎乎地祝賀李筠,「小師妹你可真厲害,一眼就猜出原因了,就算是使用了小聰明,那也是十分厲害的。」
「就是碰巧了。」
「那也是本事。」
「按照現在兩台機器的對比來看,安教授研究的投影式還是非常有必要的,比起另一台來說,度簡直了,要是以後都能用上,老師也不用愁每次要用什麼來試驗了。」
「創還是很有必要的。」
李筠並沒有直接贊同這句話,因為在後世,在考慮了成本和時間之後,最流行的還是接近式,在掩膜板和光刻膠基底層之間留有留有一個微小的縫隙,避免接觸污染,也能節約金錢和時間成本。
而後年她們就能在自己的國家看見這樣的機器,進一步縮小與國外差距。
最後第一個出現在眾人眼前的就是投影式製作出來的晶片,只不過其具體性能如何,還要經過進一步的測試,這件事要等到老師回來之後主持,暫時還不能看。
趙志民也注意到這次的晶圓要更大一點,想到其存取的信息量更大,對於其造型好像能夠理解了。
過了眼癮,他就帶著李筠和閆旭東告別,回到自家的實驗室,繼續忙活。
李筠也回到了自己的檔案室,繼續昏天暗地的翻閱資料。
接近一個星期的瀏覽,她對於自己所要書寫的論文主題已經有了一個大概的想法,但是具體的內容她還得再思索一番。
而和兩人告別的閆旭東,繼續看著實驗室內的試驗完成,才仔細整理了自己的防護衣物之後走進去。
一進去他就找到負責接觸式的人員。
大家一看到閆旭東來了,一個個嚇得縮著脖子,實在是他們剛剛出現了一個不應該出現的意外,耽誤了試驗進程,影響對比結果。
閆旭東這個在實驗室里向來以嚴苛聞名的人,肯定要給他們來上一頓狠狠地訓斥。
似乎是擔心相比於自己主動承擔,被閆旭東責問更害怕,隊伍里的隊長挺身而出,在閆旭東還沒有開口之前,直接對著他深深鞠躬,開口道:
「閆師兄,都是我們不小心,一時粗心大意,才讓試驗出現問題,請您說我們吧!」
閆旭東也沒有想到自己什麼都還沒說,就把下面的師弟師妹們嚇成這樣,他不由得反思難道自己的臉看起來很嚇人嗎?
不過,他現在最關心的問題不是這個,趕緊把人叫起來。
「你別鞠躬,先站起來,我問你們一個事,你們是按照試驗流程那樣,一個個仔細排查才找出是掩膜出問題的嗎?」
「啊?」
大家沒想到,閆旭東進來就是為了問這個,一個個還有些緩不過神來,呆愣在原地。
這副樣子當即就把他看得鬱悶了,怎麼自己的團隊裡的人看起來就像是腦子缺根筋似的,別人團隊的就腦子反應迅。
大家感受到閆旭東身上散發出的不滿信號,趕緊解釋道:
「沒錯,我們就是按照操作規範上所說的做的。按照操作流程,晶圓出問題,我們需要考慮到光束、掩膜台、物鏡……」
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